美国picarroPicarro宣布推出完全优化的气体分子污染（AMC）监测系统——PicarroSAM，该系统专为半导体晶圆厂设计，可实现高灵敏度、实时在线的AMC监测，助力提升晶圆产量。系统组成与技术核心基于CRDS的传感器：PicarroSAM系统采用业界领先的光腔衰荡光谱（CRDS）技